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Photonics West
27.01.- 01.02.2018
Besuchen Sie uns auf der
Photonics West in San Francisco
Stand 4529


Spiegel und Platten mit planen oder sphärischen Oberflächen sind ein grundlegender Bestandstandteil vieler optischer Aufbauten. Spiegel dienen zum Umlenken oder Fokussieren von Lichtstrahlen. Beidseitig polierte Platten können als Fenster, Strahlteiler oder Festetalon eingesetzt werden.

Einige wichtige Parameter für die Charakterisierung der Qualität von Spiegeln und Platten sollen im Folgenden vorgestellt werden.

Formabweichung

Die Toleranz der Formabweichung gibt an, wie weit die tatsächliche Oberfläche von der idealen Form (Ebene bzw. Kugel) abweichen darf. In der Optik ist es üblich, die Toleranz in Einheiten der Wellenlänge λ anzugeben (z.B. λ/4). Um diese Spezifikation in die zulässige Abweichungslänge umzurechnen, muss die Bezugswellenlänge λref bekannt sein. Die Angaben in unserem Katalog beziehen sich (wenn nicht anders spezifiziert) auf λref=546 nm (d.h. λ/10 entspricht 54,6 nm).

Ein weiterer Parameter bei der Angabe der Formabweichung ist die Art der Auswertung der Messdaten. Hier sind sowohl die Differenz der Maximalwerte (peak-to-valley, PV) als aus die mittlere quadratische Abweichung (root mean square, RMS) gebräuchlich. Für den PV-Wert wird die Differenz zwischen dem höchsten und dem niedrigsten Punkt berechnet, während der RMS-Wert die über die gesamte Prüffläche gemittelte Abweichung angibt. Beide Werte haben ihre Berechtigung. In diesem Katalog ist (wenn nicht anders spezifiziert) der PV-Wert angegeben. Obwohl es keine allgemeine Beziehung zwischen der PV- und der RMS-Abweichung gibt, kann man davon ausgehen, dass der RMS-Wert in der Praxis um den Faktor 3-5 unter dem PV-Wert liegt. So entspricht z.B. λ/10 (PV) einem Wert von λ/30-λ/50 (RMS).

Die in diesem Katalog angegeben Werte für die Formabweichung gelten für einen Prüfbereich von mindestens 90% (typ. >95%) der äußeren Abmessungen. Wenn nur ein kleinerer Teil der freien Öffnung genutzt wird, erhält man in der Regel deutlich kleinere Formabweichung.

Mikrorauheit

Als Mikrorauheit werden Abweichungen der Oberfläche bezeichnet, deren laterale Struktur der Wellenlänge des Lichts oder weniger entspricht (d.h. typ. <1 µm). Abweichung auf dieser Längenskala führen zu einer Streuung des Lichts.

Für die Rauheit wird üblicherweise die quadratisch gemittelte Abweichung Rq angegeben. Mit den für unsere Optiken verwendeten Polierverfahren werden Werte von Rq <1nm (typ. Rq <0,5 nm) erreicht.